北京监控台光刻机工件台监控系统

本实用新型涉及一种光刻机工件台监控系统，包括控制模块及报警模块，控制模块包括控制器及控制板卡，控制板卡与控制器连接，控制板卡用于连接光刻机工件台的电机驱动器，并用于通过电机驱动器控制工件台启停，控制器具有数字输入模块及模拟输入模块；报警模块包括一级停机报警单元及二级缓冲停机报警单元。如此，控制器具有数字输入模块及模拟输入模块，方便控制器通过数字输入模块及模拟输入模块连接外围变量传感器，来采集对工件台的监测数据，实现对多项外围变量指标的监测，在数据异常时，方便根据相应的数据异常策略通过报警单元发出二级预警，并通过控制控制板卡实现对工件台启停的控制。